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隨著科技的不斷發展,工業領域對于高精密、智能化和自動化的需求也越來越高。在實現輕載自動化應用中,高精密手動滑臺、微米級別電動滑臺和納米級別滑臺,以其輕盈便捷、高精密特點成為了工業智能化的重要的一部分,同時也解決了一部分人員成本等諸多不穩定因素,已被廣泛應用于工業自動化領域,可實現真空、污染、無菌、輻射等環境下的位移控制的實際應用需求。
在3C領域,滑臺產品廣泛應用于手機、電腦、相機等產品的制造過程中。例如,手機殼體的加工、屏幕貼合、攝像頭安裝等環節都需要滑臺產品的精確控制。滑臺產品能夠實現高精度的定位和高速的傳輸,提高生產效率和質量。在半導體制造過程中,滑臺產品主要用于晶圓處理、芯片貼裝、引線焊接等環節。這些環節對精度的要求非常高,滑臺產品能夠提供高精度的運動控制和高效的數據處理能力,確保生產線的穩定性和良品率。
卓立漢光可提供多種類手動/電動位移滑臺、納米壓電位移臺等產品,系列豐富,種類齊全,滿足客戶不同種類的需求:
1、 VR/AR檢測:
1.1手動檢測:卓立漢光可以提供3-6軸檢測,靈敏度小于2um,推薦產品AAK3-60L\AAK4-60L\AAK5-60L\AAK6-60L;
2、HXP-824六軸系統以及壓電六軸;
2.1HXP系列六軸并聯機器人系統主要用于高精度的六自由度調整,尤其適合于空間精密對位、微小器件加工和裝配、鏡片檢測、光通信等領域。
2.2納米級別壓電六軸可以實現nm級別調整,可以用于晶圓檢測,以及nm檢測應用。
3. 光盤測試
主要是對主要是做流延膜、拉伸膜、光學材料、電子材料、航空航天材料等成分分析,卓立漢光壓電掃描臺可以解決此方案。
2. 納米定位臺,壓電掃描臺
物鏡精密定位:納米聚焦系統,主要應用于半導體材料檢測,電鏡nm級別調整。
推薦產品:Carrier.OB
Z方向單一運動方向,行程覆蓋50, 100 & 400um
• 快速運動穩定,10ms內完成
• 支持高負載物鏡選項;提供多種物鏡轉接接口
• 支持第三方軟、硬件控制,實現自動對焦
• 支持電容(.C) & 電阻(.S ) 位置傳感
• 最高分辨率達到0.2 nm
• 支持無磁 (.NM), 超高真空(.UHV)選件升級